установка электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием изображений на пластине

elektronpluoštis plokštelės tiesioginės litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. e-beam direct-write-on-wafer equipment vok. Elektronenstrahl-Direktschreiberanlage, f rus. установка электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием изображений на пластине, f pranc. équipement de lithographie électronique à enregistrement direct, m